（电子显微镜高压电源纹波及稳定性测量方法）标准制定工作组成立的通知

2025-12-03 团体标准

仪学秘字【2025】114号

各相关单位：

电子显微镜是材料科学、生命科学、半导体工业等领域的核心分析仪器，其分辨率与成像质量直接依赖高压电源的输出性能——特别是纹波和电源稳定性，是影响电子显微镜性能的核心指标。

随着我国半导体产业对制程芯片检测需求激增，对于电子显微镜高压电源的纹波控制精度及稳定性要求也越来越高，为填补国内目前电子显微镜高压电源的生产与检测缺乏统一标准的空白，解决不同厂商采用各自的方法测量电子显微镜高压电源的纹波和稳定性而使得产品性能参数无法比对，下游用户难以精准评估设备适用性的问题，我会标准化工作委员会（SCIS）经过评审，决定立项制定以下反映先进专业技术水平、适应市场需求、具有我国自主知识产权的团体标准：

标准名称	起草牵头单位	标准号（暂定）
电子显微镜高压电源纹波及稳定性测量方法	咸阳威思曼高压电源有限公司	T/CIS 29001-XXXX

为完成上述标准制定任务，特成立标准制定起草工作组，工作组名单见附件。

特此，敬请工作组的单位和专家，以及有愿望参加本标准制定工作的其他单位和专家，本着积极、严谨、科学、公平的态度，努力、实际、高效的工作精神，争取早日完成标准制定的相关工作，为我国的仪器仪表行业专业标准做出新的贡献，用标准为国家的经济建设做有效保障。

联　系：中国仪器仪表学会标准化工作委员会

地　址：北京市海淀区锦秋国际大厦A座23层

电　话：86-10-82800385

Email： scis@cis.org.cn

中国仪器仪表学会

2025年12月3日

附件：CIS标准制定工作组名单

《电子显微镜高压电源纹波及稳定性测量方法》标准工作组

序号	姓名	工作单位	职务/职称	说明
1	陆　雨	咸阳威思曼高压电源有限公司	总经理	组长
2	高永亮	陕西威思曼高压电源股份有限公司	总经理
3	高　田	西北工业大学	副教授
4	付朝阳	西北工业大学深圳研究院	教授
5	郑利兵	中国科学院电工研究所	副研究员
6	常　旖	西安高压电器研究院股份有限公司	工程师
7	张建龙	西安电子科技大学	副教授