第十八届微米纳米技术创新与产业化学术论坛(ICMAN 2025)圆满落幕

2025年10月22-23日，由中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会、清华大学主办，苏州大学机电工程学院、苏州市机器人产业协会、江苏省具身智能机器人技术重点实验室承办，苏州纳米科技发展有限公司协办的第十八届微米纳米技术创新与产业化学术论坛(ICMAN 2025)暨第十届微米纳米技术创新与产业化科研成果转化“智程半导体杯”学生大赛在中国江苏苏州圆满落幕。百位国内外微纳领域专家、研究人员、企业界人士相约ICMAN 2025学术论坛，围绕“微纳感知助力具身智能”这一主题，深度聚焦微纳器件制造与微系统技术研究，进行学术交流和产业推广，促进微米纳米技术创新与产业化。

论坛开幕式由中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会常务副主任委员、清华大学朱荣教授主持，中国仪器仪表学会副秘书长张莉，中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会主任委员、苏州大学机电工程学院院长孙立宁教授、苏州纳米科技发展有限公司董事长张淑梅致辞。

中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会常务副主任委员、清华大学朱荣教授主持

中国仪器仪表学会副秘书长张莉致辞

中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会主任委员、苏州大学机电工程学院院长孙立宁教授致辞

苏州纳米科技发展有限公司董事长张淑梅致辞

来自高校、研究所和企业的27位专家、学者、企业家等作了精彩报告。主旨报告分别由中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会委员、苏州大学陈立国教授和中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会常务委员/副总干事、苏州大学刘会聪教授主持。

苏州大学孙立宁教授在主旨报告中以微纳感知赋能具身智能机器人创新发展为主题，介绍机器人具身智能为微纳传感技术的发展带来新的机遇和市场蓝海。具身智能通过机器人等物理实体与环境交互，能进行环境感知、信息认知、自主决策和采取行动，并能够从经验反馈中实现智能增长和行动自适应。微纳传感技术结合AI大模型，将实现AI多传感融合，并产生智能识别、智能规划、智能抓取、智能交互等新功能，促进机器人具身智能的创新演化和发展应用。

东南大学黄庆安教授在主旨报告中提到，MEMS已经改变了人类感知与控制外部世界的方式。往前看，一方面需要持续研究开发MEMS材料、设计、制造、封装等问题，进一步提高性能，降低成本，扩展应用领域；另一方面，需要探索新原理，以期提高性能或者实现以前不可能的器件。宇称-时间（Parity-Time）对称性1998年起源于量子力学，是指系统经过空间反射和时间反演作用后保持不变。由于量子力学的波动方程与经典波动方程在数学上的相似性，PT对称系统的特征首先于2008年在光学系统观测到，进而在光学、电学、声学等领域发现了大量奇特效应和潜在应用。报告介绍本课题组在MEMS中实现PT对称系统的探索研究，以及在高灵敏传感和非互易传输方面的初步应用。

大连理工大学刘新宇教授在主旨报告中指出开发一种超软（即杨氏模量<30 0.5-11="">10 S/m），同时还具有强大的表面粘附性能。此外，我们通过多种微图案化方法（如激光切割、3D打印和光刻）制造超软电子器件，并展示了它们在可穿戴传感、软体机器人和生物电子记录中的应用。

西安交通大学赵玉龙教授介绍了MEMS执行器及相关技术在新一代微火工品与微引信当中的应用。基于电热驱动原理，设计并制造出一种具有达输出位移的四隔板MEMS安保装置。微执行器的结构原理、制造工艺、集成封装及应用技术将会详细阐述。通过微冲击片起爆试验验证了微执行器的可靠性与安全性，该微执行器实现了良好的安全与解保特性。基于上述研究成果，研发了集成有MEMS换能元、MEMS安保装置、微毁伤单元的MEMS智能弹药，实现了与微无人平台的搭载并形成系列微装备。

中国科学院上海微系统与信息技术研究所李昕欣研究员在主旨报告中分析当今国际MEMS巨头企业博世和意法半导体的单片单面MEMS工艺技术APSM和VENSENS，进而讲述我们自主发明的单片单面MEMS制造技术-“微创手术”MIS工艺方法，并通过直接对比来显示MIS工艺的技术优势。通过多种先进传感器的实例来说明MIS工艺的通用覆盖加工能力。

清华大学朱荣教授提及机器人在复杂场景中的多模态感知与智能控制面临巨大挑战。团队提出并建立了一种类皮肤热感受器原理，研制出多模态柔性传感器和电子皮肤，能够感知多维力/力矩、接触物质、温度、流体、滑动和纹理等丰富信息，具有集成度高、结构简单、传感性能优、调控性好等特点。我们将柔性传感器和电子皮肤应用于智能机器人，多模态触觉传感器用于灵巧手操作，多模态电子皮肤用于人机交互，将触觉感知与机器视觉/听觉和智能控制相结合，融合人工智能技术，构建具身智能系统架构，实现机器人灵巧操作和智能家政服务等智能应用。

主题（特邀）报告分别由大连理工大学刘军山研究员、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所梁静秋研究员主持。华中科技大学吴志刚教授，上海交通大学刘景全教授，机械工业仪器仪表综合技术经济研究所所长欧阳劲松（杜晓辉代），苏州大学陈立国教授，北京航空航天大学蒋永刚教授，乐聚智能（深圳）股份有限公司董事长冷晓琨，人形机器人（上海）有限公司副总经理刘宇飞（邢伯阳代），安徽华鑫微纳集成电路有限公司副总经理张胜兵（刘垚代），美的中央研究院资深工程师罗彪作大会主题（特邀）报告，苏州纳米科技发展有限公司经理沈伟杰介绍苏州工业园区纳米技术应用产业发展情况。

青年专家论坛报告由上海交通大学杨卓青教授和清华大学柳世强特聘研究员主持。哈尔滨工业大学张甲教授，上海交通大学杨睿教授，中北大学王任鑫教授，中国科学院苏州生物医学工程技术研究所郭振研究员，苏州大学李东升副教授，南京理工大学姜波副教授，上海交通大学臧法珩副教授，昆明理工大学侯诚副教授，苏州大学陈冠宇副教授，中国科学院北京纳米能源与系统研究所李恒禹副研究员，明察智新（深圳）科技有限公司产品主管陈梓煊作大会青年专家论坛报告。国内领域专家、研究人员和知名企业家齐聚一堂，在MEMS技术、微纳器件制造、微系统技术研究等方面交流独到的见解，分享各自取得的研究成果，促进微纳领域技术的交流发展。

此外，同期举办了第十届微米纳米技术创新与产业化科研成果转化“智程半导体杯”学生大赛，这也是会议的亮点之一，该赛事旨在鼓励在校大学生和研究生将具有产业化潜力的研究成果进行展示和产业化策划，引导和激励年轻学子积极参与微米纳米技术创新与产业化事业。本次大赛得到数十所高校及科研院所的近百名师生积极响应和报名，甄选出9组优秀队伍入围决赛，共30余名学生参会，于22日下午做出了精彩的展示。各队选派代表进行了精彩的答辩并接受了答辩委员会评委的现场评审。最终，来自电子科技大学“大范围快响应纳机电气压传感器”项目荣获本届大赛一等奖；来自苏州大学的“面向心血管疾病预诊预警的智能脉象识别仪”项目荣获大赛二等奖；来自中国科学院空天信息创新研究院的“基于匀强光场的定量荧光流式细胞仪”、重庆大学的“基于微流控AI技术的细菌表型药敏快速检测技术”、中国科学院上海微系统与信息技术研究所的“一种穿戴式呼气末二氧化碳监测装置”项目获得大赛三等奖。

本次论坛为来自国内学术界和工业界的专家学者、企业家及研究人员提供一个促进微米纳米技术和传感器创新与产业化的重要技术交流平台，同时也是学术界和工业界相互合作、共同促进先进技术产业化的纽带。