【会员风采】微纳器件与系统技术分会常务理事——任天令教授

任天令，中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会常务理事，清华大学信息学院副院长，集成电路学院教授，长江学者特聘教授，国家杰出青年基金获得者。曾担任IEEE电子器件学会副主席、国际微电子领域顶级学术会议IEDM执委、IEEE电子器件学会教育委员会主席，均为中国大陆首次。长期致力于新型智能微纳电子器件、芯片与系统的研究，包括：智能传感器与智能集成系统，二维纳电子器件与芯片，柔性、可穿戴器件与系统，智能信息器件与系统技术等。承担国家自然科学重点基金、国家重大科技专项、国家公益性行业科研专项、科技部重点研发计划等多项国家重要科技项目，做出一系列具有重要国际影响的创新学术成果，如目前国际上栅极物理尺寸最小的晶体管、石墨烯智能人工喉、智能人工耳膜、石墨烯三维人机交互器件、新型不挥发存储芯片、光谱可调的发光器件、仿生突触器件等。在Nature, Nature Electronics, Nature Communications, IEEE EDL等国际重要学术期刊以及IEDM等顶级国际学术会议上发表600余篇论文，同时他是70多项专利的共同发明人，曾两度荣获“清华大学良师益友”。

2022年3月，任天令教授团队在小尺寸晶体管研究方面取得重大突破，首次实现了具有亚1纳米栅极长度的晶体管，并具有良好的电学性能。相关成果以“具有亚1纳米栅极长度的垂直硫化钼晶体管”（Vertical MoS2 transistors with sub-1-nm gate lengths）为题，于3月10日在线发表在国际顶级学术期刊《Nature》(IF: 49.962)上，论文通讯作者为任天令教授。

亚1纳米栅长晶体管结构示意图

亚1纳米栅长晶体管器件工艺流程、示意图、表征图以及实物图